本公司的磁控溅射镀设备有以下几大特点:1) 膜厚可控性和重复性好。能够可靠的镀制欲定厚度的薄膜。并且,溅射镀膜可以在较大的表面上获得厚度均匀的膜层;2)薄膜与基片的附着力强。并且部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原子相互溶合的伪扩散层;3)可以制备特殊材料的薄膜,可以制膜层可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜、化合膜,还可溅射成TiN仿金膜;4)膜层纯度高,溅射膜层中不会混入坩锅加热器材料的成份。
本公司拥有最完善的售后服务体系,使用本公司设备可免费提供技术工,操作工培训和的生产工艺
磁控溅射镀膜样品
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